荷兰阿斯麦公司 制造新一代光刻机


  

  新华社电 据路透社5月20日报道,荷兰阿斯麦公司(ASML)正在制造新款极紫外线(EUV)光刻机,每台售价约4亿美元。

  路透社援引阿斯麦公司高级管理人员的话报道,新一代高数值孔径EUV光刻机的原型机将在2023年上半年制造完成。

  这些高管说,顶级芯片供应商准备最早2025年开始使用上述产品的量产机。

  报道援引美国超大规模集成技术研究所专家丹·哈奇森的话说,高数值孔径EUV光刻机可为一些芯片企业提供巨大优势。